利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是測(cè)量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測(cè)量。

在測(cè)量中設(shè)計(jì)一個(gè)精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測(cè)傳感器放在一起同步檢測(cè)，從而形成對(duì)比。位移傳感器自動(dòng)檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀（標(biāo)準(zhǔn)）對(duì)定長(zhǎng)位移進(jìn)行測(cè)試對(duì)比，得出往復(fù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)環(huán)境：室溫18℃；相對(duì)濕度：52％RH；氣壓：754mmHg給出的位移檢定系統(tǒng)的讀數(shù)與激光干涉儀讀數(shù)，其差值小于±2．0um，這一誤差滿(mǎn)足預(yù)期的研究指標(biāo)要求（不大于±2．5um）。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。