NS系列臺階儀探針式表面輪廓儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡國產品牌以共聚焦技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。儀器結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
中圖儀器NS系列臺階膜厚儀是一種常用的膜厚測量儀器,它是利用光學干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
VT6000系列共聚焦3d顯微成像系統(tǒng)是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
NS系列中圖國產臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
SuperViewW1白光干涉微觀形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸??蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
VT6000高分辨率聚焦顯微鏡自設計之初,便定下了“簡單好用”四字方針的目標。結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計.
中圖儀器NS200臺階儀國產品牌是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。廣泛應用于:大學、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設備等行業(yè)領域。
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