簡(jiǎn)要描述:機(jī)床激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
產(chǎn)品分類
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品牌 | CHOTEST/中圖儀器 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車,電氣 |
一、產(chǎn)品介紹
機(jī)床激光干涉儀以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
三、機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
四、配件與證書
序號(hào) | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
1 | SJ6000主機(jī) | 1臺(tái),配云臺(tái)、電源適配器 | 標(biāo)配 |
2 | 通用三腳架 | 1個(gè),配便攜包 | |
3 | 筆記本電腦 | 1臺(tái),配測(cè)量軟件 | |
4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī):1個(gè),內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
空氣溫度探頭:1個(gè),線長(zhǎng)5米 | |||
材料溫度探頭:3個(gè),線長(zhǎng)5米 | |||
5 | 標(biāo)配附件 | USB線2根 | |
水平儀1個(gè),磁性表座2個(gè) | |||
輔助安裝塊1塊,安裝柱4節(jié) | |||
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡,各1個(gè);夾緊孔座2個(gè) | |
7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè),外尺寸:613mm×460mm×230mm | |
8 | 三坐標(biāo)測(cè)頭夾具 | 1套 | 選配 |
9 | 對(duì)角線測(cè)量套裝 | 1套 | 選配 |
10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 | 1個(gè) | 選配 |
11 | 輕型線性鏡組 | 小角錐反射鏡、縮光鏡,各1個(gè) | 選配 |
12 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡,各1個(gè) | 選配 |
13 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調(diào)基板,各1個(gè);平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
14 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡,各1個(gè) | 選配 |
15 | 長(zhǎng)直線度鏡組 | 長(zhǎng)距離直線度干涉鏡、長(zhǎng)距離直線度反射鏡,各1個(gè) | 選配 |
16 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、底座、M8接頭,各1個(gè) | 選配 |
17 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊,各1個(gè) | 選配 |
18 | 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) | 1臺(tái),配卡盤、USB數(shù)據(jù)線、電源適配器、藍(lán)牙工具 | 選配 |
19 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺(tái),配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
20 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服,各1件 | 選配 |
五、注意事項(xiàng)
對(duì)角線測(cè)量套裝配置需求:對(duì)角線測(cè)量套裝+可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
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