中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，可廣泛應(yīng)用于3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

在少數(shù)需要檢測(cè)超精密器件表面全貌的場(chǎng)景中，SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的自動(dòng)拼接功能，能快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。

如一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，其表面有高反、超光滑、凹面弧形特征，用于微小位移和角度檢測(cè)。針對(duì)其凹面弧形的檢測(cè)需求，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡這兩個(gè)顯微測(cè)量?jī)x器中，均分別因有損測(cè)量或分辨率不夠的原因而排除，只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀，能同時(shí)滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對(duì)完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求，中圖儀器SuperView W1雙物鏡白光干涉儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

深圳市中圖儀器科技有限公司致力于精密計(jì)量、檢測(cè)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?，F(xiàn)擁有2千平方米的現(xiàn)代化科研辦公場(chǎng)地及3千平方米的精密加工、裝配基地，配備了科研設(shè)施和精密加工設(shè)備，按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)，為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品。