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激光干涉測(cè)量?jī)x器

簡(jiǎn)要描述:SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

  • 更新時(shí)間:2024-05-13
  • 產(chǎn)品型號(hào):SJ6000
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:785

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

中圖儀器SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器是一種利用光的干涉原理來測(cè)量物體長(zhǎng)度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。具有測(cè)量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

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SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x器集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具??蓪?shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。


性能特點(diǎn)

1. 自動(dòng)采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;

2. 測(cè)量過程全自動(dòng)化,效率高;

3. 可測(cè)量任意方向的回轉(zhuǎn)軸,可測(cè)量任意角度間隔,通用性強(qiáng);

4. 可自動(dòng)生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù),根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)計(jì)算定位精度結(jié)果,無需人工計(jì)算。


產(chǎn)品功能

可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量;

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

導(dǎo)軌直線度檢測(cè).jpg

導(dǎo)軌直線度檢測(cè)

對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn).jpg

對(duì)機(jī)床精度再校準(zhǔn)


產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖.png

▲主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。


技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時(shí)間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測(cè)量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測(cè)量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測(cè)量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測(cè)量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測(cè)量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m
直線度測(cè)量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~15.0)m
垂直度測(cè)量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m



注意事項(xiàng):

平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量



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