中圖儀器SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，具有實時性測量能力，能夠同時測量多個位置或參數(shù)，提高測量效率。

直線度測量原理

▲直線度測量的光路原理構建圖

直線度干涉鏡在移動過程中產生橫向或縱向位移時，兩束反射光會有相對應的光程差產生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號，經過運算處理，即可得出對應的直線度值。

直線度測量配置及使用方法

直線度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿足±3mm范圍內的直線度測量。

▲運動軸的橫向直線度測量示意圖

▲運動軸的縱向直線度測量示意圖

直線度測量應用

▲SJ6000激光干涉儀測量導軌的直線度

SJ6000導軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

產品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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